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您所在的位置：首頁 > 行業(yè)解決方案 > 半導(dǎo)體 > 德國耶拿在半導(dǎo)體解決方案之二 輕松拿捏——高純濕電子化學(xué)品
背景介紹
在電子產(chǎn)品的制造過程中，嚴(yán)格的規(guī)格要求使得任何微小的污染或不純凈物質(zhì)都可能嚴(yán)重影響半導(dǎo)體材料的成品率、電性能和可靠性。伴隨集成電路技術(shù)的不斷進步，超凈高純試劑的發(fā)展也顯得尤為重要。每一代微細(xì)加工技術(shù)都需搭配相應(yīng)的超凈高純試劑，只有不斷更新和升級，才能滿足現(xiàn)代集成電路生產(chǎn)的需求。
由于TOC（總有機碳）分析儀具有靈敏度高、分析速度快、抗干擾能力強的特點，TOC在超高純試劑的檢測中扮演著關(guān)鍵角色，不僅確保了化學(xué)品的純度，還直接影響到電子產(chǎn)品的最終質(zhì)量及其在市場上的競爭力。
目前TOC分析已在多種電子級濕電子化學(xué)品的品控中進行監(jiān)控，如：硫酸、鹽酸、磷酸、硼酸等各類酸，氨水、氫氧化鈉等堿，及雙氧水等化學(xué)品。
德國耶拿TOC解決方案
難點突破1：直接進樣，無需稀釋
電子級試劑往往由于其純度高但待測TOC含量低，而使得允許的稀釋倍數(shù)受限。有些高純試劑稀釋后TOC將與空白無差別，無法準(zhǔn)確定量。
以雙氧水為例，其在分解過程中會產(chǎn)生大量氧氣，同時高溫下水分會迅速氣化，測定時的氣流波動會嚴(yán)重干擾測定結(jié)果。傳統(tǒng)分析采用稀釋進樣的方法，而電子級的雙氧水含量特別低，稀釋后TOC含量與空白相差不大，會帶來很大的稀釋誤差，同時空氣中的CO2也會影響分析結(jié)果。
德國耶拿獨家的VITA技術(shù)用來補償不可避免的分析氣體流量的波動引起的信號變化，拓寬低濃度的檢測范圍，使得TOC系統(tǒng)更精確，靈敏，穩(wěn)定。對高達(dá)70%濃度H2O2溶液無需進行稀釋，可直接進樣分析。同時配備高聚焦NDIR檢測器，對CO2具有更高靈敏度，可獲得更為可靠的結(jié)果，且一次進樣可以同時分析TOC和TN參數(shù)，可以實現(xiàn)高效高通量測定。
案例一：30%/70% 雙氧水TOC/TN測定
對電子級分別為30%和70%雙氧水溶液進行直接測定，70%雙氧水RSD達(dá)到0.5%，說明VITA流量技術(shù)很好地消除了燃燒過程中氣流波動帶來的影響，測試樣品后對2.5ppm的標(biāo)液進行回測，回收率為103%，說明儀器的氧化性能佳；且儀器能兼顧TN的同時測試，為品控提供有力的數(shù)據(jù)支持。
難點突破2：超強的酸堿耐受性
對于酸堿性的樣品，如果直接進入定量閥，長時間會腐蝕定量閥的密封圈和內(nèi)部器械，會加劇定量閥的損壞速度，導(dǎo)致進樣體積不準(zhǔn)確等問題。德國耶拿在硬件上進行技術(shù)革新，在保證進樣體積準(zhǔn)確性的前提下，用超純水代替樣品進入定量閥，避免樣品對定量閥的損耗，可以長時間分析酸堿性，甚至是有一定顆粒的高鹽樣品，耗材少，維護成本低。
案例二：電子級硫酸中TOC測定
考慮到高純硫酸在管道有很明顯的放熱反應(yīng)，樣品稀釋測定，同時進行加標(biāo)回收實驗。從實驗數(shù)據(jù)可以看出，樣品加標(biāo)回收率為96%，TOC標(biāo)樣的回收率為97%，說明儀器對高純硫酸的基體耐受性好，能準(zhǔn)確測定電子級硫酸中低濃度TOC的含量。
案例三：電子級氨水中TOC測定
由于氨水是堿性溶液且電子級的氨水TOC濃度本身就比較低，容易吸收空氣中的CO2 ,造成結(jié)果的不準(zhǔn)確性，測試前對樣品進行稀釋中和，同時扣除酸空白。從實驗數(shù)據(jù)可以看出，樣品RSD均小于1%，0.1ppm的樣品加標(biāo)回收率為99%，0.1ppm TOC標(biāo)樣的回收率為102%，說明儀器對低TOC的電子級氨水測定準(zhǔn)確性高。
難點突破3：儀器自動繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線+ 長達(dá)一年校準(zhǔn)周期
對于較低TOC濃度樣品的測定，如何繪制低濃度的標(biāo)準(zhǔn)曲線顯得非常重要。由于配制標(biāo)液需要稀釋液，但實驗室很難找到TOC為零的稀釋液，在配制溶液的過程也容易引入空氣中的CO2 ,得不到線性較好的曲線。德國耶拿multi N/C 總有機碳分析儀提供吸取不同體積繪制曲線的功能，無需人為配制曲線，線性輕松達(dá)到0.999以上，且校準(zhǔn)周期長達(dá)一年，減少每次做樣前曲線繪制的人力和時間，讓您有更多的時間做重要的事情。
綜上，德國耶拿multi N/C 總有機碳分析儀能輕松應(yīng)對高純濕電子化學(xué)品超低TOC的測定需求，幫助企業(yè)實時監(jiān)控生產(chǎn)過程中的化學(xué)品純度，確保生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，提高產(chǎn)品的市場競爭力。
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上海恒奇儀器儀表有限公司
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